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API XD6LS精密激光干涉儀

機床主要誤差：

圖為：使用XD Laser激光干涉儀實現多種檢測需求

API公司XD系列激光干涉儀型號：

        一維測量系統XD –1D標準型&精密型
        三維測量系統XD –3D
        五維測量系統XD –5D標準型&精密型
        六維測量系統XD –6D 標準型&精密型

良好的結構設計

API公司采用了穩定鋼球與絕熱層的雙重定位設計，將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發熱而引起的熱膨脹方向沿穩定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準確性。

主要特性：

??一次安裝能測量6項精度指標包括線性定位誤差、XX及YY兩個方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動角
??把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
??兩點調光線.無需三腳架. 測量調整簡單快速
??傳統激光干涉儀測量20項精度指標(三軸)，約需3天的時間；API干涉儀只約需半天!
??測量直線度/小角度/垂直度/轉臺時, 不怕斷光, 可當自準直儀用, 用于機床裝配調試

美國API軟件功能：

從初的系統校準到測量結果的審查.再到機床的空間精度補償，API軟件 都會無微不至地協助您完成測量工作:易于使用一- 界面設計明朗，讓操作者一目了然。高效多功能一無論您測量位置度.直線度.角度、平面度甚至是空間誤差補償以及數控程序，XD Laser和API軟件都將伴您左右，幫助提高您的生產效率。

技術參數：
  5D/6D標準型：
  1. 線性：0.5ppm .
  2. 測量范圍：40米(1D可選80米)
  3. 線性分辨力：0.001um.
  4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
  5. *大范圍：800角秒
  6. 滾動角精度：1.0角秒
  7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
  8. 直線度*大范圍：500um
  9. 垂直度精度：1角秒
  10. 溫度精度：0.2攝氏度
  11.濕度精度：5%
  12.壓力精度：1mmHg